14. 硅(Si)是太阳能电池和电脑芯片不可缺少的材料。利用石英砂(主要成分为二氧化硅)生产高纯硅的流程图如图(整个制备过程必须达到无水、无氧气)。
回答下列问题:
(1)三氯硅烷是由
__元素(填数字)组成的化合物,请写出由纯SiHCl
3制备高纯硅的化学反应方程式为
_____________________,反应的基本类型为
______。
(2)整个制备过程必须严格控制无水无氧气。SiHCl
3遇水剧烈反应生成H
2SiO
3、HCl和另一种物质,写出化学反应方程式为
_________________________;H
2还原SiHCl
3过程中若混入O
2,可能引起的后果是
________。
(3)以上生产高纯硅的流程中,可循环使用的物质是
____________。