目前的高端光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV(波长193nm)是深紫外线,EUV(波长13.5nm)是极深紫外线。沉浸式光刻机在透镜组和硅片之间充有液体,已知光在真空中传播速度大于在介质中传播速度。关于光刻机物理量的比较下列说法正确的是( )
A.真空中DUV光源光子频率比EUV光源光子频率大 |
B.DUV光源光子能量比EUV光源光子能量大 |
C.沉浸式光刻机光在液体中波长比在真空中短 |
D.沉浸式光刻机光在液体中频率比在真空大 |
更新时间:2023-10-06 18:25:31
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A.铯137释放的β射线是由氦核构成 |
B.铯137释放的γ光子能量大于可见光光子能量 |
C.1g铯137经过60年后,铯137含量大约还有0.75g |
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【推荐2】可见光波长的大致范围是400~760nm,则该范围的电磁辐射能量子最大值是多少(已知普朗克常量)( )
A.4.97×10-21J | B.2.62×10-19J | C.3.11eV | D.1.63eV |
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