阅读下面科普短文。
硅元素在地壳中的含量仅次于氧。其在自然界中通常以石英砂（主要成分为）和硅酸盐的形式存在。以纯碱、石灰石和石英砂为原料可制得玻璃。
单品硅具有优异的耐高温与抗腐蚀性能，是制造大规模集成电路（俗称“芯片”）的基底材料。
用石英砂制造芯片的过程如下：（粗硅）（三氯硅烷）（单晶硅）
我国科学家正在开发“碳基”芯片来替代硅基芯片，习近平总书记评价此项研究“另辟蹊径，柳暗花明”。
依据文章内容回答下列问题。
(1)、纯碱和石灰石中属于氧化物的是_________。
(2)已知制造芯片的步骤①发生了置换反应，在生成粗硅的同时，还生成一种可燃性气体，试写出该反应的化学方程式__________________。
(3)从原子结构分析，碳原子和硅原子的__________________相同，因此两者的化学性质相似，使得“碳基”芯片有望替代硅基芯片。