1 . 氮化硅(Si₃N₄)是一种高温陶瓷材料，它的硬度大、熔点高、化学性质稳定，工业上普遍采用高纯硅与纯氮在1300℃反应获得。
(1)根据性质，推测氮化硅陶瓷的用途是______。
A.制汽轮机叶片       B.制有色玻璃       C.制永久性模具       D.制造柴油机
(2)氮化硅陶瓷抗腐蚀能力强，除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应。试推测该陶瓷被氢氟酸腐蚀的化学方程式为______。
(3)现用四氯化硅和氮气在氢气中加强热发生反应，可制得高纯度氮化硅，反应的化学方程式为______。