6 . 硅及其化合物在生产生活中有重要用途。
(1)用氮化硅陶瓷制造发动机，能大幅度提高发动机的热效率。工业上制备氮化硅的原理为。
①的电子式为___________。
②若该反应转移，生成的质量为___________g。
(2)芯片制作中的部分流程如图：

①表面织构化中溶液与单晶硅反应生成溶液，溶液俗称水玻璃，水玻璃可用作___________。
②扩散制结过程发生反应I．；反应Ⅱ．。
配平反应Ⅱ．______________________Si=___________SiO₂+___________P，该反应的反应类型为___________(填四大基本反应类型)。
③去除磷硅玻璃即除去扩散制结过程中产生的，下列试剂合适的为___________(填标号)，写出其化学方程式：___________。
a．浓硫酸                           b．氢氟酸                           c．稀硝酸